分 类CVD系列气相沉积炉
本系列设备主要用于C/C复合材料制备或石墨、陶瓷等材料工件的表面沉积
| 序号 | 技 术 项 目 | 主 要 技 术 参 数 |
| 1 | 规 格 型 号 | □□CVD-□□□>连接产品规格型号编制说明 |
| 2 | 结构与安装形式 | 圆形（方形）立式（卧式） |
| 3 | 有效装料空间 | 10-8000L(或根据客户要求定制） |
| 4 | 极限使用温度 | 1150℃-1600℃ |
| 5 | 常用工作温度 | 950℃-1500℃ |
| 6 | 最小使用寿命 | 3000次循环 |
| 7 | 温度均匀性能 | ±5~15℃ |
| 8 | 发热体材料 | 石墨/碳碳复合材料 |
| 9 | 适应气氛 | 苯烯、天然气等碳氢气体/氮气等惰性保护气氛/真空 |
| 10 | 可控炉压 | 20Pa（真空）-- 0.02MPa（微正压） |
| 11 | 供 电 电 源 | 三相AC380V/50Hz |
| 12 | 泵 噪 音 | ≤85dB（A） |
卧式结构炉型：采用水平移动方式开关炉门（本公司专利：ZL2010 2 0139780.5），由液压缸驱动，料台（物料装在料台上）与炉门铰接，随炉门水平移动进出炉膛（炉子加热区）；小型炉子的炉门采用手动倒扣人工锁紧，大型炉子采用液压倒扣（本公司专利：ZL2014 2 2253066.2）自动锁紧。
立式结构炉型：采用垂直升降方式开关炉门（本公司专利：ZL2008 2 159541.9），由液压缸驱动、链条带动或电动减速机驱动、丝杆传动（两种方式可选），料台与链条或丝杆连接，垂直升降进出炉膛；小型炉子的炉门采用手动倒扣人工锁紧，大型炉子采用液压旋扣自动锁紧。为操作方便与安全，当料台降到地面时，本公司设计有料台从炉底移出机构供客户选择。
供排气方式：大面积多点均匀进气、大面积多管均匀抽排气、中段多点补气，炉内气体近乎直线型流动。由气体质量流量计和浮子流量计组合控制各点进气量，耐腐蚀抗粉尘真空泵抽排气。（本公司专利：ZL2011 2 0401891.3）
尾气处理：采用先胶油过滤后粉尘过滤组合处理。
炉压控制系统、加热与温度控制系统、电气控制与系统保护：详见《电气控制系统》描述。
